掺硼乳胶源

应用范围：

应用范围：半导体芯片扩散掺杂源。

质量效果：掺硼乳胶源新材料扩散结果系数相对集中，片子结深均匀，磷花较细、硅片表面清洁、厚度均匀硅晶格保持完整、无合金点；扩散后器件表面清洁干燥，不会损害硅的表面有利于光刻。

优点：设备简单、工序少、一步工艺即可完成扩散，源浓度可以在较大范围内调节、基本无毒杂质析出等，比目前常用的液态源、固态源具有更多的优越性，基本无毒无气味更环保,比常规工艺更简便、稳定、可靠、安全；同时扩散中又不受气流影响，在同一炉中不但同一片大园片上一致性好，而且片间均匀性也很好，其结果重复性也相当好。

操作工艺：

采用涂布法涂源：采用中心自转式涂佈机。开动马达启动涂佈机，使硅片涂胶吸附盘高速旋转，转速约3000-4000转 /分，将清洁的硅片放在涂胶吸附盘上，用真空吸附法吸住片子，用笔刷将源涂在硅片上，让源佈满整个硅片。涂源时要注意：使用时先将源摇匀

（不用时要用保鲜膜密封好存储冷藏柜），源量要均匀佈满整个硅片表面，涂源的涂胶盘转动要平稳，不可偏心。涂源量的多少、涂胶盘的转速、涂胶时间等等均对源膜厚有影响。为保证产品参数一致性，必须严格掌握好涂源条件，有条件的话操作者最好固定；整个涂源

过程必须在净化环境下进行，相对湿度 必须小于40%。

使用和贮藏注意事项：

1、远离火种、热源。包装必须密封，切勿受潮。应与易燃、可燃物，碱类等分开存放。防止包装及容器损坏。雨天不宜运输。

2、用多少，倒多少。因源易挥发，要迅速涂片，原装瓶盖子盖好。

3、硼源要放2~5度冰箱保存，千万不可靠冰箱壁放。

4、使用本品操作时注意手防护：戴防毒物渗透手套。

保质期：60天

包装：纸箱内置泡沫箱，每箱10瓶装（10L)，塑料瓶装：1L净液。