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掺硼乳胶源
作者:admin 发布日期:2021-06-07

掺硼乳胶源 拷贝.jpg

应用范围:

应用范围:半导体芯片扩散掺杂源。

质量效果:掺硼乳胶源新材料扩散结果系数相对集中,片子结深均匀,磷花较细、硅片表面清洁、厚度均匀硅晶格保持完整、无合金点;扩散后器件表面清洁干燥,不会损害硅的表面有利于光刻。

优点:设备简单、工序少、一步工艺即可完成扩散,源浓度可以在较大范围内调节、基本无毒杂质析出等,比目前常用的液态源、固态源具有更多的优越性,基本无毒无气味更环保,比常规工艺更简便、稳定、可靠、安全;同时扩散中又不受气流影响,在同一炉中不但同一片大园片上一致性好,而且片间均匀性也很好,其结果重复性也相当好。


操作工艺:

采用涂布法涂源:采用中心自转式涂佈机。开动马达启动涂佈机,使硅片涂胶吸附盘高速旋转,转速约3000-4000转 /分,将清洁的硅片放在涂胶吸附盘上,用真空吸附法吸住片子,用笔刷将源涂在硅片上,让源佈满整个硅片。涂源时要注意:使用时先将源摇匀

(不用时要用保鲜膜密封好存储冷藏柜),源量要均匀佈满整个硅片表面,涂源的涂胶盘转动要平稳,不可偏心。涂源量的多少、涂胶盘的转速、涂胶时间等等均对源膜厚有影响。为保证产品参数一致性,必须严格掌握好涂源条件,有条件的话操作者最好固定;整个涂源

过程必须在净化环境下进行,相对湿度 必须小于40%。


使用和贮藏注意事项:

1、远离火种、热源。包装必须密封,切勿受潮。应与易燃、可燃物,碱类等分开存放。防止包装及容器损坏。雨天不宜运输。

2、用多少,倒多少。因源易挥发,要迅速涂片,原装瓶盖子盖好。

3、硼源要放2~5度冰箱保存,千万不可靠冰箱壁放。

4、使用本品操作时注意手防护:戴防毒物渗透手套。


保质期:60天

包装:纸箱内置泡沫箱,每箱10瓶装(10L),塑料瓶装:1L净液。

 


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